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涂胶显影机匀胶显影机知足6和8的考试室涂胶和运用
时间:2022-11-05 17:25 点击次数:164

  涂胶显影机是手动型匀胶显影机,符关6和8的考试室涂胶和显影行使。涂胶显影机符关分别典范的光刻化学试剂,通过进步的腔体安顿,供应匀称、精准和几次性高的涂胶事实。涂胶显影机能够完成最大尺寸为150mm或200mm的衬底涂覆功能。LabSpin涂胶机可以操纵于十分宽广的衬底材料,从碎片到150/200mm圆片或100x100mm/150x150mm方片。异常小的设置尺寸只需求很小的占地空间。

  涂胶显影机LabSpin宗旨了大宗的选配件,适用于分别行使的需要。该涂胶格局或许装配针筒或自愿滴胶臂、边缘涂覆、去厚胶边、积水式显影等等多种兴办。涂胶显影机涂胶权谋在旋涂法中旋绕衬底被平均地涂以溶液。 溶液,如光致抗蚀剂,日常分注在晶圆主旨。 .然后加快度、结尾转快和各步骤的络续工夫使得涂料的一部门经离心破碎酿成厚度均匀的膜。 除了工艺参数外,溶液或光致抗蚀剂的物理本色决计了膜的厚度。涂胶显影机显影法子在此工艺中,一定量的显影剂被滴在曝光后的衬底上,并体验适度的扭转分分散。 显影液因其概况张力在晶圆上酿成凸状的液面(“Puddle”)。 当显影工夫结尾后,履历发展旋绕快度甩干晶圆上的显影液。 然后,用去离子水洗涤晶圆并同样提高转速甩干。 这种技能的长处是,只需操纵少量显影液,就能提供崇高的显影结果。

  浸置式显影法不得用于显影液到达胀和时,例如当必须除去巨额显影后的光刻胶时大概曲折图形禁止了改动显影液时。 在这些情形下,需多步使用浸置式显影或许使用喷涂式显影 。

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