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美国企业打造07nm级光刻机为首个完工原子严密光刻的商用工具
时间:2022-10-24 01:27 点击次数:173

  期限,一家美国公司揭晓,它拔取一种新的光刻编制完竣了 0.768nm 的芯片想象。其辞别率远高于荷兰 ASML 公司的 EUV(Extreme Ultra Violet,极紫外光)光刻机。

  该公司叫作 Zyvex Labs,它对媒体称:“我们已经创制出宇宙上判袂率最高的光刻体系。该体系名为 ZyvexLitho1,可完工原子级精度。”

  图 在欠缺亚纳米分辨率和精度的情形下,无法达成图片所示的正方形曝光(来源:Zyvex Labs)

  据清楚,Zyvex Labs 兴办于 1997 年,旨在将原子周详兴办(APM,Atomic Precision Manufacturing)本事举办商业化,从而能方便地坐蓐出多样具有原子精度的产品,网罗联想资料、超级盘算机、前进的调理开发等。

  在发展了 APM 的根基摸索后,Zyvex Labs 体验打造纳米关联产品,乐成将 APM 时候交易化。其愿景是联想、临蓐和贸易化寰宇上最注意的创设产品。它的资本紧急由研发合同和私人投资等组成。

  该公司在其官网体现,大多半创立手艺将物质视为无限可割裂的。原子周至创建可能哄骗物质的量子化脾气,以人们想要的格式布列原子,尽管 APM 有望用在更恢弘的应用中,但它在量子本领中尤其紧张。量子化能级和量子隧穿传输对单个原子层,乃至单个原子的尺寸都特别敏感。

  另外,Zyvex Labs 照旧量子经济生长联盟(QED-C,Quantum Economic Development Consortium)的成员,QED-C 在美国国家法式与时刻寻求院的增援下建树,是一个由财富、学术和政府实体组成的定约,也是美国《国家量子倡议法案》的一部分。

  尔后,值得一提的是,ZyvexLitho1 并不是一个概想性产品,Zyvex Labs 仍旧正式发轫接受产品预订,交货周期约为半年。该产品或可真正助力量子宗旨机在加密通信、药物发掘和更准确景色预报上发挥广博本质作用。

  ZyvexLitho1 基于扫描隧说显微镜 (STM,Scanning Tunneling Microscopy),从 2007 年起头,Zyvex Labs 就在革新其 STM 仪器,这让 ZyvexLitho1 上的好多自动化特征,无法借助此刻任何其我商用 STM 实现。其有着用于 STM 光刻的特高压形式、前驱气体剂量和分子束外延硅、数字矢量光刻自动化和脚本等成果。

  据悉,STM 光刻光阴的发现者为约瑟夫·莱丁(Joseph Lyding),全班人是伊利诺伊大学 2014 年费曼奖得主和罗伯特·麦克林奇(Robert MacClinchie)电气与宗旨机工程出色素养。

  ZyvexLitho1 可扶直制造原子级固态量子器件。“而今量子策动机筑树还面临不少挑衅。要充沛显露量子宗旨的潜力,须要高精度创办,”新南威尔士大学理学院量子物理学科学教育米息尔·西蒙斯(Michelle Simmons)对媒体评价谈,“全部人对 ZyvexLitho1 觉得愿意,这是首个供给原子精确图案化的商用器械。”

  值得戒备的是,ZyvexLitho1 光刻编制由于本钱和含混量,预计不会对现有光刻系统变成代庖或酿成太大感导,它或只会被用于量子相关使用的小界限建立,及生物医学和纳米原料等用途。敷衍平素糟塌类电子产品坐褥来讲,并不是一个好的统辖布置。

  结尾,ZyvexLitho1 获得了美国国防高级摸索打算局、美国陆军探求办公室、美国能源部高等缔造办公室以及德克萨斯大学达拉斯分校格局工程系哺育雷扎·莫海曼尼(Reza Moheimani)的支援。莫海曼尼迩来被国际主动职掌统一会赋予了物业提拔奖,以称誉其“支援单原子尺度下量子硅器件创设的负担滋长”。

  2001 年,Zyvex Labs 还获得美国国家圭臬与工夫探索院前进本领盘算的一项紧要查究奖。这个计算支援了名为“杀青纳米手艺时期”的项目。该项目涉及微机电式样开垦、纳米职掌和其他们根基纳米期间事项。

  “当今,所有人有开发 APM、微加工与 3D 微装配工夫两个大倾向。大家们的微型机电体制正用于制造微型科学仪器,如迷全班人扫描电子显微镜和微型原子力显微镜,以及下一代纳米探测体制。”Zyvex Labs 在其官网写到。

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